【48812】芯源微请求基板清洗体系及控制办法专利可以大幅度的进步清洗功率
金融界2024年7月4日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，沈阳芯源微电子设备股份有限公司请求一项名为“基板清洗体系及控制办法“，公开号CN2.4，请求日期为2022年12月。
专利摘要显现，本发明供给了一种基板清洗体系及控制办法。该基板清洗体系包含片盒单元、榜首缓存单元、第二缓存单元、榜首传送设备、第二传送设备、榜首翻转清洗设备和第二翻转清洗设备；榜首传送设备用于在片盒单元与榜首缓存单元之间、和用于在片盒单元与第二缓存单元之间运送基板，第二传送设备用于在榜首缓存单元与榜首翻转清洗设备之间运送基板、和用于在第二缓存单元与第二翻转清洗设备之间运送基板，榜首翻转清洗设备和第二翻转清洗设备均用于对基板进行翻转和正反面清洗。本请求的基板清洗体系可以一起完结两片基板的运送与翻转清洗，且第二传送设备在榜首翻转清洗设备处和第二翻转清洗设备处的换片时间短，可以大幅度的进步清洗功率。